ГОСТ Р 8.659-2009
Скачать ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Категории ГОСТ Р 8.659-2009 по ОКС:- Статус документа:
- действует
- Назначение ГОСТ Р 8.659-2009:
- Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
- Поправки и изменения к ГОСТ Р 8.659-2009
- стандарт не имеет поправок
Доступные для скачивания версии ГОСТ :
В данный момент версии документа не доступны для скачивания. Приносим извинения за предоставленные неудобства.