ГОСТ Р 8.659-2009
ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Категории ГОСТ Р 8.659-2009 по ОКС:- Статус документа:
- действует, введён в действие 01.01.2011
- Название на английском языке:
- State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
- Дата актуализации информации по стандарту:
- 18.09.2019, в 13:26 (более года назад)
- Вид стандарта:
- Стандарты на методы контроля
- Дата начала действия ГОСТа:
- 2011-01-01
- Дата последнего издания документа:
- 2019-08-12
Коды документа ГОСТ Р 8.659-2009:
- Код КГС:
- Т84.10
- Код ОКСТУ:
- 0008
- Число страниц:
- 16
- Назначение ГОСТ Р 8.659-2009:
- Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
- Документ разработан орг-ей:
- Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
- Ключевые слова документа:
- нанофотолитография, сила излучения, синхротронное излучение, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, энергетическая яркость
Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 8.659-2009:
- Ссылки на ГОСТы:
- ГОСТ Р 8.736 ГОСТ 8.197 ГОСТ 8.552
Скачать ГОСТ Р 8.659-2009 вы можете в следующих версиях:
В данный момент версии документа не доступны для скачивания. Приносим извинения за предоставленные неудобства.
Вы можете просмотреть версии ГОСТ Р 8.659-2009, доступные для скачивания, возможно документ есть там в PDF формате.