ГОСТ Р 8.640-2008
Скачать ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Категории ГОСТ Р 8.640-2008 по ОКС:- Статус документа:
- действует
- Назначение ГОСТ Р 8.640-2008:
- Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
- Поправки и изменения к ГОСТ Р 8.640-2008
- стандарт не имеет поправок
Доступные для скачивания версии ГОСТ Р 8.640-2008:
Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
Ссылка на скачивание: