ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Категории ГОСТ Р 8.640-2008 по ОКС:- Статус документа:
- действует, введён в действие 01.01.2009
- Название на английском языке:
- State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
- Дата актуализации информации по стандарту:
- 18.09.2019, в 13:25 (более года назад)
- Вид стандарта:
- Основополагающие стандарты
- Дата начала действия ГОСТа:
- 2009-01-01
- Дата последнего издания документа:
- 2008-05-15
Коды документа ГОСТ Р 8.640-2008:
- Код КГС:
- Т84
- Код ОКСТУ:
- 0008
- Число страниц:
- 15
- Назначение ГОСТ Р 8.640-2008:
- Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
- Документ разработан орг-ей:
- Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
- Ключевые слова документа:
- радиометр, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, фотолитография, энергетическая освещенность
Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 8.640-2008:
- Ссылки на ГОСТы:
- ГОСТ 8.552-2001 ГОСТ 8.207-76
Скачать ГОСТ Р 8.640-2008 вы можете в следующих версиях:
Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
Ссылка на страницу загрузки:
-
страница 1
-
страница 2
-
страница 3
-
страница 4
-
страница 5
-
страница 6
-
страница 7
-
страница 8
-
страница 9
-
страница 10
-
страница 11
-
страница 12
-
страница 13
-
страница 14
-
страница 15