Категории ОКС

Поиск ГОСТов по категориям Общероссийского Классификатора Стандартов
Категории ОКС в развёрнутом виде

Условные обозначения

Иконки файлов и свойства документа
- иконка ГОСТа;

Типы файлов

- документ представлен набором отсканированных изображений;
- документ можно скачать одним PDF файлом, файл состоит из не распознанных отcканированных страниц;
- документ можно скачать одним PDF файлом с распознанным текстом;
- документ можно скачать одним PDF файлом, внутри файла работают ссылки на другие ГОСТ'ы, текст распознан

Статусы ГОСТов

- документ действует в настоящий момент (статус ГОСТа - Действующий);
- документ отменён (статус ГОСТа - Отменён);
- документ заменён (статус ГОСТа - Заменён);
- ГОСТ не действует на территории РФ;

ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Категории ГОСТ Р 8.640-2008 по ОКС:
Статус документа:
действует, введён в действие 01.01.2009
Название на английском языке:
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации информации по стандарту:
18.09.2019, в 13:25 (более года назад)
Вид стандарта:
Основополагающие стандарты
Дата начала действия ГОСТа:
2009-01-01
Дата последнего издания документа:
2008-05-15
Коды документа ГОСТ Р 8.640-2008:
Код КГС:
Т84
Код ОКСТУ:
0008
Число страниц:
15
Назначение ГОСТ Р 8.640-2008:
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Документ разработан орг-ей:
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Ключевые слова документа:
радиометр, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, фотолитография, энергетическая освещенность
Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 8.640-2008:

Скачать ГОСТ Р 8.640-2008 вы можете в следующих версиях:

Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
12/12/2011 02:03
67
0.61 Мб
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 1 страница 1
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 2 страница 2
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 3 страница 3
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 4 страница 4
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 5 страница 5
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 6 страница 6
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 7 страница 7
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 8 страница 8
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 9 страница 9
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 10 страница 10
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 11 страница 11
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 12 страница 12
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 13 страница 13
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 14 страница 14
  • ГОСТ Р 8.640-2008, страница 15 страница 15