закрыть

ГОСТ Р 8.628-2007

Скачать ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Категории ГОСТ Р 8.628-2007 по ОКС:
Статус документа:
действует
Назначение ГОСТ Р 8.628-2007:
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Поправки и изменения к ГОСТ Р 8.628-2007
стандарт не имеет поправок

Доступные для скачивания версии ГОСТ Р 8.628-2007:

Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
Ссылка на скачивание:
12/12/2011 02:03
65
0.46 Мб
скачать ГОСТ Р 8.628-2007