ГОСТ Р 8.628-2007

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Категории ГОСТ Р 8.628-2007 по ОКС:

Название на английском языке:: State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection

Дата актуализации информации по стандарту:: 18.09.2019, в 13:25 (более года назад)

Коды документа ГОСТ Р 8.628-2007:

Назначение ГОСТ Р 8.628-2007:: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Ключевые слова документа:: длина, зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы, материал, монокристаллический кремний, размеры, растровые электронные измерительные микроскопы, рельефные меры нанометрового диапазона, формы