Статус ГОСТ 5.2105-73 на 2026 год
Актуальный статус ГОСТ 5.2105-73 – действует стандарт или нет?
ГОСТ 5.2105-73 «Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции» действует в России и странах ЕАЭС (Армения, Кыргызстан, Таджикистан) и является актуальным в текущем 2026 году.
- Статус документа на 2026 год:
- действует, введён в действие 01.09.1973
- Наименование стандарта:
- Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
- Дата актуализации информации по стандарту:
- 17.09.2025, в 15:28 (менее полугода назад)
- Назначение ГОСТ 5.2105-73:
- Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
- Поправки и изменения к ГОСТ 5.2105-73
- стандарт не имеет поправок
- Дата начала действия ГОСТа:
- 1973-09-01
