ГОСТ 5.2105-73

ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Категории ГОСТ 5.2105-73 по ОКС:

Название на английском языке:: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products

Дата актуализации информации по стандарту:: 19.06.2025, в 16:57 (менее 3 месяцев назад)

Коды документа ГОСТ 5.2105-73:

Назначение ГОСТ 5.2105-73:: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов