Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
- Статус:
- действует
- Страниц:
- 16
Доступные для скачивания версии ГОСТ Р ИСО-14644-12-2020: