ГОСТ Р 52250-2004
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Категории ГОСТ Р 52250-2004 по ОКС:- 71. Химическая промышленность.
- 71.80. Органические химические вещества
- 71.80.99 Органические химические вещества прочие
- Статус документа:
- действует, введён в действие 01.01.2005
- Название на английском языке:
- Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
- Дата актуализации информации по стандарту:
- 17.02.2014, в 19:25 (более года назад)
- Вид стандарта:
- Стандарты на методы контроля
- Дата начала действия ГОСТа:
- 2005-01-01
- Дата последнего издания документа:
- 2004-07-02
Коды документа ГОСТ Р 52250-2004:
- Код ОКП:
- 249642
- Код КГС:
- Э10
- Число страниц:
- 31
- Назначение ГОСТ Р 52250-2004:
- Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
- Документ разработан орг-ей:
- Госстандарт России
- Ключевые слова документа:
- испытания, приемка, разрешающая способность, резист, состав параметров, сохраняемость, чувствительность к излучению
Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 52250-2004:
Скачать ГОСТ Р 52250-2004 вы можете в следующих версиях:
Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
Ссылка на страницу загрузки:
-
страница 1
-
страница 2
-
страница 3
-
страница 4
-
страница 5
-
страница 6
-
страница 7
-
страница 8
-
страница 9
-
страница 10
-
страница 11
-
страница 12
-
страница 13
-
страница 14
-
страница 15
-
страница 16
-
страница 17
-
страница 18
-
страница 19
-
страница 20
-
страница 21
-
страница 22
-
страница 23
-
страница 24
-
страница 25
-
страница 26
-
страница 27
-
страница 28
-
страница 29
-
страница 30
-
страница 31